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在半导体制造业中，可以把气体分成大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造中刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积，扩散等过程中使用的各种化学气体，如高纯NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可称为电子特种气体。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，北京特种气体，为有别于其它领域应用的气体。

特种气体系统：

主管路系统的设计

在确定好气体房和用气点以后，主管路系统一般遵循管道线路1短，拐弯少，布置紧凑合理，给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，特种气体供应商，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。

特种气体的杀菌

安全与环保

1.灭菌过程中严禁穿有钉的鞋进入现场，严禁操作现场抽烟，以防引起爆1炸事故

2.操作过程中，密切注意压力、温度变化，随时进行调整

3.灭菌过程结束打开灭菌器时，必须先打开门窗及通风设备，特种气体价格，室内环氧乙1烷气味很浓时，不得开启电灯照明及手电照明，防爆灯除外。

4.灭菌结束后排放的环氧乙1烷残余气体应进行妥善处理并符合环保要求。

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